TY - GEN T1 - Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica A2 - García Méndez, Manuel, A2 - e-libro, Corp. LA - Spanish PP - Monterrey, N.L. PB - Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica YR - 2008 UL - https://colectivo.uloyola.es/Record/ELB19576 OP - 271 CN - Q23 C257 2008 KW - Ciencia. KW - Tecnología. KW - Science. KW - Technology. KW - Artículos electrónicos. ER -