TY - GEN T1 - Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals A2 - Rojas Martínez, Y. A2 - e-libro, Corp. LA - Spanish PP - Tolima PB - [Universidad Del Tolima] YR - 2009 UL - https://colectivo.uloyola.es/Record/ELB94724 OP - 18 CN - QC23 D611 2009 KW - Física. KW - Physics. KW - Fisica KW - Artículos electrónicos. ER -