Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
| Other Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Analítica |
| Language: | Spanish |
| Published: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://recursos.uloyola.es/login?url=https://accedys.uloyola.es:8443/accedix0/sitios/ebook.php?id=94724 |